膜厚监控仪

FTM106型 膜厚监控仪  

测量：

频率计算精度 ±0.1Hz(在6.0MHz频率时)

频率显示精度 0.1Hz

测量速率 4Hz

显示：

厚度显示 000000Å～999999Å

速率显示 000.0～999.9Å/s

时间显示 00:00:00～23:59:59（时:分:秒）

层数 01～99层

图形显示 240x64LCD，低功耗LED背光

存储能力：

层 99层

材料库 256种材料参数

膜层参数：

层 01～99

厚度 000000～999999 Å

材料 分子式（最长10个字符）

密度 00.00～99.99g/cm3

工具因子 00.00～99.99

Z因子 00.00～99.99

探头 A、B、C、D

系统参数：

挡板延迟 00:00～99:99(分:秒)

镀膜方式 “单层”、“多层”

控制方式 “手动”、“自动”

启动延迟 00:00～99:99(分:秒)

输出控制能力

源挡板 4个

探头挡板 4个

监控能力：

源 4个

探头数量 4个

通信

通讯接口 标配RS-232串行口

Windows软件 随机附带

其它：

供电要求 220V（±5%），50Hz，

功率<30W

工作温度 0℃～50℃

仪器尺寸：宽：440高85深260   面板484X88