RF-5000W-F型射频电源说明书
JS-5KW-F型 射 频 电 源(13.56MHz)
使 用 说 明 书
长春市星达电子仪器厂
目 录
射频电源采用先进的射频电源技术和元器件，以及精心的设计，保证了整机的可靠性和稳定性。其特点具有寿命长，功率输出稳定，效率高，安全性高，操作便捷。
本电源可广泛应用于真空室内等离子放电、改性、聚合、分析、清洗、气象沉积、镀膜、医疗等离子体消毒等行业。
该电源由晶体振荡，电子交联放大、推动级、功放等电路组成。并配有阻抗匹配网络，使电源与用户的负载达到最佳匹配状态，配有双指针功率表，可直读输出功率和反射功率值,同时可观察到电源与负载是否匹配良好。设备电控部分采用自锁式开闭电路。
输出功率： 300-5000W 连续可调。
匹配输出阻抗： （2.7～45）Ω j（0～70）Ω。 可配自动匹配
输出信号频率：13.56MHz ±0.005%（频率：2MHZ、3MHZ、7MHZ、13.56 MHz、27.12 MHz、40.68MHz、（或其它频率）定制）
脉冲连调频率： 10KHZ---80KHZ
脉冲分调频率: 10KHZ, 100KHZ,
占空比： 10--85%
脉冲检测信号： 方波，不是调制完成后的输出信号波形
环境温度： -10 ~ 40℃
相对湿度： < 85%
冷却方式： 强制风冷≥14m3/mim
耗电量满功率输出时：≤8KW。
供电： 380V 三相四线制
输出接口： L27-J10标准同轴接头
连续工作时间: 8小时
操控模式： 手动操控
机柜尺寸： 宽600深600高1600mm
匹配网络： 宽390深360高140 mm
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1. 低压开 2. 低压关 3.高压开 4. 高压关 5. 功率调节旋钮
6.末级屏压 7. 末级屏流 8．功率表 9. 匹配电容位置 10. 指示灯
11. 功率表量程选择 12. 匹配调节 13.三相电指示 14. 调制选择
15.频率调节 16. 占空比调节 17.脉冲信号检测点
（二）使用操作方法
1.按照系统接线图连接，连接示意图如下：
380V电源 |
同轴电缆 |
同轴电缆 |
RF射频电源 |
用户负载 |
匹配网络 |
匹配网络 |
接地线 |
脉冲调制信号 |
2.首先仪器外壳与地线要接好，并且保证通风良好。
3. 输出电缆接到匹配网络的输入端，匹配网络的输出端接到负载上，要求负载真空度等参数符合实用的参数。(也可把负载真空调到30Pa 左右之间来调、在这个范围调匹配容易起辉)。
4. 将仪器接通电源(380V三相四线)合上总电源开关，三相指示亮、同时风机转动,温控指示灯亮。
①开低压：首先把功率输出调节钮逆时针调到底，按低压开关(开)，低压开关上指示灯和低压指示亮、机内低压部分以工作。灯丝半压电路开始延时、前级以工作、待延时1-2分钟后灯丝全压自动吸合,灯丝以加上全压、灯丝全压指示灯亮,这时高压电路开始延时，待延时1-2分钟后,高压延时指示灯亮。
②开高压:查看功率输出调节扭是否逆时针调到低。在把调制选择调到本机.按高压开关(开),高压开关上指示灯和高压示灯亮,机内并有高压吸合声,高压已加上。
③观察末级屏压在1000V左右,末级屏流在0.45A左右,输出功率表指示在300W左右。（匹配基本正常时）
5.输出功率调节:高压开完以后,可缓慢调节输出功率钮(顺时针为功率升、逆时针为功率降),同时观察末级屏压和末级屏流表，在屏压表升到1500V左右、屏流表升到0.6A左右时,同时功率表应有指数在600W左右，应停止调功率按钮，需调节匹配网络Ⅰ和Ⅱ旋钮，(按扭向上按,电容为增加,下按减)使负载起辉。
6.匹配调整：负载起辉后需反复调节匹配Ⅰ、Ⅱ旋钮,（注意观察电容刻度,2只石英玻璃管负载匹配调节表Ⅰ应在680P左右刻度位置上，匹配调节表Ⅱ应在130P左右刻度位置上），输出表针向上升而反射指针向下降,降到最小点(并有一个同时点)为最佳匹配点,这时负载也应是最亮，即:
增加功率 |
反射表下降 |
调节匹配 |
增加功率 |
反射表下降 |
调节匹配 |
输出表上升 |
增加功率 |
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