JG-2KW-F 型射频等离子电源

发布时间:2020-03-30

产品详情

JG-2KW-F 型射频等离子电源

主要技术指标:

输出功率:0-2KW连续可调                           输出频率:13.56MHz
 

冷却方式:强制风冷                                输出阻抗匹配范围:(2.7-75)Ω 
 

频率稳定度:≤1.0×10 ̄6 (20。C)                供电方式:380V 三相四线制
 

耗电量满功率输出时:≤3.5KW                       连续工作时间:8小时
 

具有手动调节网络参数达到匹配功能                  本电源:设有微机外控接口
 

机柜尺寸:1500*550*600

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