JG-3KW-F 型射频等离子电源

主要技术指标：

输出功率0-3kw连续可调

输出频率:13.56MHZ（输出频率2MHZ-40.68MHZ单定制）

输出阻抗匹配范围：(2.7-75)Ω  j（0～70）Ω

频率稳定度：≤1.0×10￣6 （20。C）

供电方式：3800V AC三相四线

冷却方式：强制风冷

耗电量满功率输出时：≤4.5KW

连续工作时间：8小时

具有手动调节网络参数达到匹配功能

本电源:设有微机外控接口

机柜尺寸：宽600高1500深600mm  

匹配网络： 宽：440高120深340面板484X140mm