JG-3KW-F 型射频等离子电源

发布时间:2021-08-09

产品详情

JG-3KW-F 型射频等离子电源

主要技术指标:

输出功率0-3kw连续可调

输出频率:13.56MHZ(输出频率2MHZ-40.68MHZ单定制)

输出阻抗匹配范围:(2.7-75)Ω  j(0~70)Ω

频率稳定度:≤1.0×10 ̄6 (20。C)

供电方式:3800V AC三相四线

冷却方式:强制风冷

耗电量满功率输出时:≤4.5KW

连续工作时间:8小时

具有手动调节网络参数达到匹配功能

本电源:设有微机外控接口

机柜尺寸:宽600高1500深600mm  

匹配网络: 宽:440高120深340面板484X140mm

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