JG-3KW-F 型射频等离子电源
发布时间:2021-08-09
JG-3KW-F 型射频等离子电源
主要技术指标:
输出功率0-3kw连续可调
输出频率:13.56MHZ(输出频率2MHZ-40.68MHZ单定制)
输出阻抗匹配范围:(2.7-75)Ω j(0~70)Ω
频率稳定度:≤1.0×10 ̄6 (20。C)
供电方式:3800V AC三相四线
冷却方式:强制风冷
耗电量满功率输出时:≤4.5KW
连续工作时间:8小时
具有手动调节网络参数达到匹配功能
本电源:设有微机外控接口
机柜尺寸:宽600高1500深600mm
匹配网络: 宽:440高120深340面板484X140mm
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