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射频电源研发,是国内早从事工业电源维修的企业。

发布时间:2021-08-26

射频电源服务范围:

从事大功率射频RF电源研发&第三方维修供应商,为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业研发和维修PVD、CVD、

PECVD、MOCVD、ION IMP,PLASMA的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。

射频电源服务优势:

拥有一批技术人才,进口品牌射频电源工程技术支持,消化吸收国外技术基础上发展,锻炼培养十几名的维修工程师。拥有自主开发的配套射频电源测试平台,高压电源测试负载,直流电源测试负载,测试仪器设备,以及丰富的图纸技术资料。

射频电源服务品牌:

AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源,

HiTek Power,Glassman、Spellman高压电源,Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。

ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH  LAMP、ESC HV PSU。       

射频电源维修

维修半导体设备电源,主要有高压电源(High Power Supply)、框架式可控大功率直流电源(DC Power Supply)、

射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。 

Thermo Chiller维修 

温度控制泵浦,设备冷却系统,品牌有SMC,小松、大金、申和等

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