当前位置: 首页 - 新闻资讯 - 公司动态

数字化射频电源网络主动匹配器的研制

发布时间:2021-08-25

       跟着射频电源技能进入镀膜工艺之后,射频匹配也随之成为需求解决的问题。射频电源的功率应尽或许的用于镀膜工艺中,体系的输入功率直接影响到等离子体的浓度和压力,也就直接影响了镀膜的质量,关系到工艺水平的好坏。

      在一定条件下,镀膜体系负载是随时间发生改变的,这使得阻抗的主动匹配变得更为必要。而国内现在都是以手动匹配为主,射频电源主动阻抗匹配器的发展是一个瓶颈。因此,主动匹配技能的研讨有很重要的意义。 本文以真空实验室的射频RF-500型射频等离子体增强CVD镀膜机相配套的射频电源阻抗匹配器RS-500为研讨目标,对射频电源的手动阻抗匹配器的原理和规划进行研讨,并把传入电表的信号传入计算机中进行主动操控,完成主动匹配。

      本文以功率检测模块的详尽规划和对体系树立的数学模型进行操控仿真为要点研讨内容,结合功用较为完善、技能相对老练的其他模块如传动模块、信号转换模块等的分析研讨,提出了射频电源主动阻抗匹配器较为完善的规划办法,在全体结构规划原理上有一个相对完好的知道。 本文电路的规划是基于匹配原理的,即跟着镀膜过程中等离子体阻抗的改变,经过阻抗匹配器来完成全体传输电路的共轭阻抗匹配,使得入射功率一直到达最大,反射功率到达最小,以确保镀膜的质量。

      等离子体的改变,可以等视为电路中的一个阻抗,匹配器经过调理自身模块中的两个可变电容,来完成整个传输电路的共轭匹配。确定共轭匹配的办法是经过检测入射功率和反射功率,使得入射功率到达最大,反射功率到达最小为宜。功率可由电流、电压和两者之间的相位来表征,即P=U*I*cos¢。在功率检测模块,丈量电流的电流互感器选用功能优于传统线圈的Rogowski线圈,丈量电压的电压互感器选用电容式电压互感器,因为两者的相位在镀膜过程中固定,因此两者的相位角不变,不用丈量。

      由电流互感器和电压互感器组成的定向耦合设备,是功率检测模块的中心部分。本文着重分析了功率检测模块的电路,提出了合理的规划方案。然后经过对其他各个模块的分析,得出可行性的规划方案。最终对传输电路进行数学模型的树立,并用MATLAB对信号进行PID操控仿真,得出了有用的操控办法。收

       针对国产射频匹配器只要模仿电路操控式产品并与国外数字化产品有很大功能差距的现状,研制了一种数字化射频电源网络主动匹配器。其原理是经过调理Γ型网络的电容值来完成电源与负载的动态匹配,由反射系数检测器、数字信号处理器、电容方位传感器和电机驱动电路等组成一个闭环体系,操控电机来调理电容以完成上述原理。
       测试标明其可匹配阻抗范围增大、端对端匹配时间小于12s,归纳功能显著优于模仿电路操控式匹配器。
关键词查找:射频电源,高频等离子电源,晶控膜厚仪,直流负偏压电源,低温等离子灭菌电源
链接于:http://www.ccxddz.com/

相关产品

    相关新闻