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 等离子体发生器的放电原理

发布时间:2021-08-09

   高频等离子电源厂家的等离子体发生器的放电原理:利用外加电场或高频感应电场使气体导电,称为气体放电。气体放电是产生等离子体的重要手段之一。被外加电场加快的部分电离气体中的电子与中性分子磕碰,把从电场得到的能量传给气体。

电子与中性分子的弹性磕碰导致分子动能增加,射频电源表现为温度升高;而非弹性磕碰则导致激起(分子或原子中的电子由低能级跃迁到高能级)、离解(分子分解为原子)或电离(分子或原子的外层电子由束缚态变为自由电子)。高温气体经过传导、对流和辐射把能量传给周围环境,在定常条件下,给定容积中的输入能量和丢失能量持平。
    电子和重粒子(离子、分子和原子)间能量传递的速率与磕碰频率(单位时间内磕碰的次数)成正比。在稠密气体中,磕碰频繁,两类粒子的均匀动能(即温度)很容易达到平衡,因此电子温度和气体温度大致持平,这是气压在一个大气压以上时的一般情况,一般称为热等离子体或平衡等离子体。在低气压条件下,磕碰很少,电子从电场得到的能量不容易传给重粒子,此时电子温度高于气体温度,一般称为冷等离子体或非平衡等离子体。射频电源厂家两类等离子体各有特点和用途(见等离子体的工业使用)。气体放电分为直流放电和沟通放电。

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