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真空等离子清洗设备均匀性与空腔体积和入口方式的关系

发布时间:2021-03-17

真空等离子清洗设备均匀性与空腔体积和入口方式的关系:
        伴随着产品技术含量的提高,工艺要求的提高,有些产品在进行等离子处理时,对真空等离子清洗设备的均匀性提出了更高的要求,实际上许多因素都会影响真空等离子清洗设备,如尺寸、进气、电极结构、电源频率、气体流量、功率等,任何一个因素的变化都会对等离子处理设备的均匀性产生很大的影响,今天星达电子为您介绍一些有关等离子处理设备尺寸、进气方式对等离子处理均匀性的影响的相关内容。


        1、真空等离子清洗设备的空腔体积越大,其均匀度越难掌握:
        在真空等离子清洗设备中,随着空腔体积的增大,对其均匀性的把握越来越困难,相应地,在电源的选择上也越来越谨慎。对于均匀性要求较高,而空腔体积要求较大的产品,我们通常要根据加工产品的各种因素,如规格、要求、产量、体积等来定做。定做的真空等离子清洗设备也需要根据实际情况来设计,空腔体积越大,RF功率越大,所以等离子发生器仅选用13.56MHz的RF电源时,为了保证均匀性,空腔容量一般可控制在600L以内。
        若需要使用3000W以上的功率,推荐与美国AE、MKS或其他进口RF电源搭配使用,虽然成本会相对较高,但设备运行时更稳定可靠,均匀性有保障。若所加工产品对均匀性有较高要求,建议采用40KHz中频电源或100L内真空腔。
        前后排的进气方式有助于提高其均匀性:
        经多次对真空等离子清洗设备的研究发现,采用前进后排的方法,处理效果比较均匀,效果也比较好。本机主要采用铝管作为腔内进气管的选型,将铝管弯曲焊接成类  似方形的结构,同时在铝管上开孔,开孔位置适宜于两层电极板的中间位置,从而保证腔内各层加工空间独立。
        另外,对于某些空腔体积较大的设备,其进气结构需要作一些修改和调整,当然,这些修改和调整必须由空腔的具体尺寸和结构来确定。

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