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国产射频电源开始打破进口垄断

发布时间:2019-10-17

光伏职业

        在太阳能的前端制造设备中PECVD和刻蚀工艺的核心设备用到射频电源和主动匹配器,咱们有非常专业的国外技能,为您供给最优质的产品。

         成功应用9-12台匹配器到一个单腔体多极板的PECVD体系中,打破国外产品在该领域的垄断。并与多家太阳能公司替换损坏的AE匹配器。

半导体工艺应用

        半导体工艺中的刻蚀机、溅射台和PECVD机等,半导体的刻蚀技能、PVD和等离子体清洗均需用到射频电源和主动匹配器,在半导体这个大职业中咱们的产品的到了实际的考验,并取得很多好评,因此,咱们会再接再厉做到最好,替代国内8寸线上的进口射频电源盒匹配器,解决设备上的射频电源和主动匹配器老化和无人修理的难题。

真空职业

        国内大部分真空设备厂家所运用的匹配网络不是主动的,咱们可以为客户供给不同阻抗范围的主动匹配器,尽可能满足客户的相关要求。成功匹配国内电子管电源,达到主动匹配作用。与国内大学和研究所合作替换原有设备上的电子管电源和手动匹配器,使设备能大幅提高。

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