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选择晶控膜厚仪的办法都有哪些

发布时间:2019-09-25


      真空镀膜技能在越来越多的范畴运用,怎么监控淀积的膜厚是镀膜范畴重要的一环,现在较多选用的是石英晶体振荡监控法和光学膜厚监控法。 我们为您介绍怎么正确选择晶控膜厚仪


原理
石英晶体法监控膜厚,主要是运用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层,使晶振片的厚度添加,则晶振片的固有频率会相应的改动。
晶体的基频越高,操控的灵敏度也越高,但基频过高时,晶体片会做得很薄,很薄的晶体片易碎,一般选用AT切型频率5~10MHz。选用AT切晶体片,其振荡频率对质量的改动极其灵敏,晶控膜厚操控仪但却不敏感于温度的改动,具有精度高、灵敏度好等共同的优势,非常适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。
注意事项
1、新的晶振片运用之前应在剖析纯中浸泡约1分钟,然后用塑料镊子夹取并用无尘纸或洁净的绸布将剖析纯擦洗干净,一起用蘸有酒精的无尘纸或绸布将晶振座擦洗干净,拼装晶振片之前用吹气球将晶振片、晶振座及探头的触摸弹簧上或许残留的尘埃吹掉,任何晶体和夹具之间的颗粒或灰层将影响电子触摸,而且会发生应力点,然后改动晶体振荡的形式,晶振片装好后再一次用吹气球吹晶振片的表面,去除散落的尘埃。
2、更换装置晶振片时用摄子挟住晶振片的边际,晶振膜厚监控仪不要用手指触摸晶振片中心,避免留下油渍,否则会下降晶振片的振荡能力。
3、晶振座经过多次镀膜后其表面会堆积较厚的膜,假如不将其除掉,因为离子轰击发生的反溅射会影响晶振片的测试精度。能够先用喷砂或用打砂纸办法将膜层除掉,之后用酒精浸泡5分钟左右,用超声波超声清洗一下,作用会更好,最终再将其放入110℃烤箱中烘烤15分钟,即可运用。
4、在淀积过程中,基频频率最大下降量允许2~3%,约几百KHz。若下降太多,晶振膜厚监控仪首选长春市星达电子振荡器不能安稳工作,发生跳频现象,假如此时持续淀积膜层,就会呈现停振。故晶振片上膜层镀到必定厚度今后,就应该更换新的晶振片。
5、蒸发速率呈现显着异常时有必要更换晶振片。
6、晶振片的表面显着呈现膜脱落或起皮的现象也需更换。
7、保持足够的冷却水使晶振头温度在20~50度范围作用更佳。
晶振片再运用
1、银或银铝合金溶于各种酸,不适合再处理运用,必需彻底除掉晶振片上的膜层和电极,从头寄回我司镀上电极。
2、金不溶于硫酸,用户能够自已进行处理,去掉晶振片上膜层,晶控膜厚操控仪清洗干净再运用,但重复运用次数不易太多,否则质量安稳性下降影响运用。
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