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13.56MHZ晶控
高频等离子电源 |
冷却方式 |
供电
方式 |
机箱尺寸（mm） |
备注 |
| 深 |
宽 |
高 |
| JG-500W-B型 |
强制风冷 |
市电220V |
430 |
400 |
220 |
面板484×240 |
| 500W匹配网络 |
|
|
280 |
440 |
140 |
面板484×160 |
| JG—500W—D型 |
强制风冷 |
市电220V |
440 |
440 |
200 |
面板484×220 |
| 500W匹配网络 |
|
|
330 |
440 |
120 |
面板484×140 |
| JG—1KW—D型 |
强制风冷 |
市电220V |
490 |
440 |
220 |
面板484×240 |
| 1KW匹配网络 |
|
|
330 |
440 |
120 |
面板484×140 |
| JS-2KW-F型 |
风冷 |
三相380V |
480 |
440 |
220 |
面板484×240 |
| 2KW匹配网络 |
风冷 |
市电220V |
330 |
440 |
120 |
面板484×140 |
| 2KW电控箱 |
风冷 |
市电220V |
480 |
440 |
270 |
面板484×290 |
| JG—3KW—F型 |
强制风冷 |
三相380V |
480 |
440 |
220 |
面板484×240 |
| 3KW匹配网络 |
风冷 |
市电220V |
330 |
440 |
120 |
面板484×140 |
| 3KW电控箱 |
风冷 |
市电220V |
480 |
440 |
270 |
面板484×290 |
| JG—6KW—F型 |
强制风冷 |
三相380V |
600 |
600 |
1400 |
机柜 |
|
JG—6KW—F型 匹配网络 |
风冷 |
市电220V |
434 |
440 |
120 |
面板484×140 |
| JS—10KW—S型 |
水冷 |
三相380V |
600 |
600 |
1600 |
机柜 |
| JS—10KW—S型匹配网络 |
水冷 |
市电220V |
490 |
440 |
220 |
面板484×240 |
| GP-2KW功率计 |
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180 |
100 |
120 |
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| 2MHZ高频等离子电源 |
| 2MHZ高频等离子电源 |
冷却方式 |
供电方式 |
机箱尺寸(mm) |
备 注 |
| 长 |
宽 |
高 |
| JG-500W-A |
强制风冷 |
220VAC |
|
|
|
|
| JG-1KW-A |
强制风冷 |
220VAC |
|
|
|
|
| JG-2KW-A |
水冷 |
380VAC |
|
|
|
|
| JG-3KW-A |
水冷 |
380VAC |
|
|
|
|
| JG-5KW-A |
水冷 |
380VAC |
|
|
|
|
| 60MHZ高频等离子电源 |
| 60MHZ高频等离子电源 |
冷却方式 |
供电方式 |
机箱尺寸(mm) |
备 注 |
| 长 |
宽 |
高 |
| JS-500W-A |
强制风冷 |
220VAC |
|
|
|
|
| JS-1KW-A |
强制风冷 |
220VAC |
|
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| 直流负偏压电源 |
| 直流负偏压电源 |
冷却方式 |
供电方式 |
机箱尺寸(mm) |
备 注 |
| 长 |
宽 |
高 |
| DC-500W-B型 |
|
市电220V |
484 |
400 |
180 |
面板484×240 |
| DC-1KW-B型 |
风冷 |
市电220V |
480 |
450 |
180 |
面板484×160 |
| DC-2KW-A型 |
风冷 |
三相380V |
545 |
600 |
820 |
面板484×340 |
| 负脉冲电源 |
| 负脉冲电源 |
冷却方式 |
供电方式 |
机箱尺寸(mm) |
备 注 |
| 长 |
宽 |
高 |
| MC—500W—A型 |
|
市电220V |
484 |
400 |
140 |
面板484×240 |
| MC—1KW—A型 |
风冷 |
市电220V |
484 |
400 |
300 |
面板484×160 |
| MC—2KW—A型 |
风冷 |
三相380V |
500 |
600 |
820 |
面板484×340 |
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