JS-6KW/10KW射频等离子电源   输出功率：0-6KW连续可调 输出阻抗匹配范围：(2.7-75)Ω 输出频率：13.56MHz 频率稳定度：≤1.0×10￣6 （20。C） 供电方式：380V 三相四线制 耗电量满功率输出时：≤10KW 连续工作时间：8小时 具有手动调节网络参数达到匹配功能 冷却方式：强制风冷 机柜尺寸：1500*550*600